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  제  목 : AC M/C와 DC M/C에 대한 SEMI F47 시험시 주의 사항
  글쓴이 : 관리자      등록일 : 2023-01-19 05:31     조회 : 50    
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반도체 장비의 SEMI F47 인증 시험을 통과하기 위해서 AC, DC 타입 M/C 설치에 대한 특징 비교를 다음과 같이 
할 수가 있으니 참고하기 바랍니다.  
 
1.AC M/C 특징
가. 새그 시험시 채터링으로 SEMI F47 Fail 
나. 대책 : 코일-로커 또는 코일록을 M/C 전단에 설치하면  SEMI F47 Pass 
다. DC M/C에 비해서 작고, 싸고, 수명이 길다.
 ㅇ 유튜브 동영상 시험 동영상 시청 : https://youtu.be/mvJy8gADYZk 
 
2. DC M/C 특징
가. 새그 시험시 SEMI F47 중 50%, 0.2초 시험시 채터링이 나타나서 Fail 될 수도 있음. 
나. 만약 50%, 0.2초 시험을 통과해서 납품하고, 공장에 설치하고 난 후, 시간이 경과하면 내부 콘덴서 열화에 의한 용량변화로 새그 발생시 채터링이 발생하여 장비가 다운될 수도 있음. 
다. 고장시 생산중단, 교체비용이 발생한다.
라. AC M/C에 비해서 커고, 가격도 비싸고 수명이 짧다.
 
 
3. 결론 
가. 가장 신뢰성 있는 방법은 AC M/C와 코일-로커를 동시에 사용한다. 
나. 채터링이 없어져서 접점이 눌러붙는 일이 없고, 새그발생시 설비가 중단되지 않는다.
다. 시간이 경과해도 동일 성능 유지가 가능하며, M/C수명과 코일-로커의 수명이 거의 동일하다.

 

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