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  제  목 : PQube3를 이용한 SEMI E6 – 0400 보고서 작성방법
  글쓴이 : 관리자      등록일 : 2015-09-10 06:53     조회 : 9945    
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o 전형적인 SEMI E6 – 0400 보고서에 포함될 내용

 - 전형적인 SEMI E6 – 0400 보고서는 전형적인 제조공법을 사용하는 하나의  
   공정을 스텝 공정별로 처리하기 위한 실질적인 전력사용량 측정 데이터를 포함하고 있음.
 
o SEMI E6 – 0400 측정 항목 

- 실질적인 운영 비용을 이해하는데 유용한 웨이퍼를 처리하는 동안 장비에 의해서 소모된 kWh를 포함함.
- 공정동안 장비에 의해서 사용된 최대 피크 전류를 포함하며, 이는 차단기와 설비의 크기를 선택하는데 고려 사항임.
- 공정동안 피크 Kva와 동시에 기록된 고조파 측정을 포함하며, 이는 잠재적인 고조파 문제들을 정의하는데 도움을 줄 수 있음.
- 그림 2- 5까지는 한 개 공정에서 얼마나 다양한 패러미터들이 있는지 보여줌
- X축은 1개 공정동안 초 단위 시간을 나타냄. 
- 다른 색깔은 한 공정동안 다른 단계를 나타냄.
- 그림 5는 전류 파형을 나타내며, 그와 관련된 고조파를 나타냄
- 이는 장비의 변압기를 선택하는데 유용할 수 있음.
 
ㅇ SEMI E6-0400 보고서를 작성하기 위해서 사용한 PQube3의 모드버스 프로그램
 
 
ㅇ 측정 항목 : 압력계, 유량계, 온도계, 진동센서, 전력량계
 
 
 
 
 
 
이렇게 저장하여 엑셀 그래프를 그리면 아래와 같은 보고서를 작성할 수가 있습니다.
 
 
 
 
 
ㅇ 새그발생기의 기능을 이용해서 SEMI E6 400 보고서를 작성하는 방법 설명 동영상 : https://youtu.be/pDkikSnX39E 
 
ㅇ 보고서 작성용 프로그램은 FlowScope.zip 입니다. 
 
ㅇ SEMI E6 보고서 작성 문의는 재신정보 한 정규 대표 (010-4200-5611)에게 하시기 바랍니다.
 
 
     PQube, 또는 PQube3v를 이용한 SEMI F47 및 파워백신 대책 방법
     진정한 새그발생기를 이용하여 새그 내성 시험할 경우에 오해와 진실
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