제  목 : 전형적인 SEMI E6-400 기준 설명 및 보고서 작성방법
  글쓴이 : 관리자      등록일 : 2012-06-27 14:20     조회 : 8960    
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   SEMI-E6&S23요약분-20120627.pdf (673.6K), Down : 16, 2012-06-27 14:20:52
 
o 전형적인 SEMI E6 – 0400 보고서
 - 전형적인 SEMI E6 – 0400 보고서는 전형적인 제조공법을 사용하는 하나의 
   웨이퍼를 처리하기 위한 실질적인 전력사용량 측정 데이터를 포함하고 있음.
 
o SEMI E6 – Data Sheet 400 측정 항목 
- 실질적인 운영 비용을 이해하는데 유용한 웨이퍼를 처리하는 동안 장비에
  의해서 소모된 kWh를 포함함.
- 공정동안 장비에 의해서 사용된 최대 피크 전류를 포함하며, 이는 차단기와
  설비의 크기를 선택하는데 고려 사항임.
- 공정동안 피크 Kva와 동시에 기록된 고조파 측정을 포함하며, 이는 잠재적인
  고조파 문제들을 정의하는데 도움을 줄 수 있음.
- 그림 2- 5까지는 한 개 공정에서 얼마나 다양한 패러미터들이 있는지 보여줌
- X축은 1개 공정동안 초 단위 시간을 나타냄. 
- 다른 색깔은 한 공정동안 다른 단계를 나타냄.
- 그림 5는 전류 파형을 나타내며, 그와 관련된 고조파를 나타냄
- 이는 장비의 변압기를 선택하는데 유용할 수 있음.
 
 
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