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제 목 : ☆ SEMI E6 - Data Sheet 400 보고서 예

글쓴이 : 관리자 등록일 : 2010-05-30 22:42 조회 : 12409

트랙백 주소 : http://jsdata.co.kr/bbs/bbs/tb.php/sub_04_02/46

PSL TechBrief - SEMI E6-400.pdf (258.6K), Down : 55, 2010-05-30 22:42:27

SEMI E6 - Data sheet 400 보고서 예입니다.

시험 회사는 미국의 Powerside 사 입니다.

이 400보고서가 중요한 이유는 반도체 장비의 새그 내성 시험을 할 경우 모든 새그 레벨 시험은 최대 소비전류가 흐를 때 새그를 발생시캬야 하는데, 이 400 보고서를 만들어 보면 어느 공정 때에 가장 소모 전력이 많은지를 알 수가 있기 때문에 본 400보고서 작성이 필요합니다.

ㅇ 위 그래프를 제작하기 위해서는 IPC 장비 또는 PQube3 를 이용해서 측정하면 가능합니다.

ㅇ 새그 발생기로 SEMI E6 400 보고서 작성 방법 동영상 : https://youtu.be/pDkikSnX39E

반도체 장비의 SEMI F47 대책과 SEMI S23, SEMI E6 기능을 동시에 제공하는 PQube3 의 설정방법

반도체 장비의 소모 전력량 측정규격인 SEMI E6 시험이 필요한 사유는?

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